近日,全球各大半导体厂抢进先进制程,纷砸大钱向独家供应商艾司摩尔(ASML),订购要价1.5亿美元(折合人民币约10亿元)起跳的极紫外光微影设备(EUV)。据了解,ASML今年规划生产的12台EUV机台中,三星拟订下10台,外界推测三星此举除考量ASML生产不顺外,也趁机阻碍台积电等其他竞争对手的量产进度。详情一起来了解。
三星力拼7纳米制程 随着半导体制程愈来愈先进,使得10纳米以下先进制程,必须导入波长只有13.5纳米的极紫外光(EUV),才能降低晶圆制造的光罩数,缩短晶片制程流程。
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